IVT TDS Series는 가열 시 소재에서 방출되는 가스의 종류와 극미량의 방출량을 분석하도록 설계된 열탈착 분광 분석(Thermal Desorption Spectroscopy) 시스템입니다. 단순 표면 검사를 넘어, R&D 및 QC 부서가 웨이퍼, 박막, 금속 및 첨단 소재의 품질에 영향을 미치는 요소를 보다 심층적으로 평가할 수 있도록 지원합니다.

IVT는 현재 두 가지 주요 라인업을 제공하고 있습니다. 반도체 산업용 fTDS는 최대 300 mm 직경의 풀 사이즈 웨이퍼(Full Wafer)를 직접 측정할 수 있으며, 1~512 amu의 질량 범위, 최대 950 °C의 전체 가열 및 최대 1,400 °C의 국부 가열 기능을 제공합니다. 측정 챔버는 $5 \times 10^{-9}\text{ mbar}$ 이하의 초고진공 상태를 구현하여 백그라운드 가스를 최소화하고 미세 불순물 검출 감도를 극대화했습니다. 웨이퍼 투입(로딩)부터 측정, 데이터 처리에 이르는 전 과정을 자동화할 수 있습니다.

sTDS는 철강, 금속 및 소형 소재 시편을 위해 개발되었으며, 특히 수소 취성 현상과 관련된 수소의 정성·정량 분석에 적합합니다. 최대 20 × 20 × 3 mm 크기의 시편을 지원하며, 적외선 가열을 통해 최대 1,400 °C까지 승온할 수 있고, 10⁻⁹ mbar 수준의 초고진공 환경에서 분석이 가능합니다.

IVT의 주요 특징은 시편 가열, 초고진공 시스템, 가스 질량 분석 및 데이터 수집 기능이 하나의 시스템에 통합되어 있다는 점입니다. 따라서 사용자가 가스 검출기, 진공 시스템, 가열 장치 등 여러 개의 개별 장비를 별도로 구성하고 연동할 필요가 없습니다.

IVT는 TDS 시료 분석 서비스도 제공하고 있어, 고객이 장비 도입을 결정하기 전에 실제 시료를 보내 분석 데이터를 사전에 확인할 수 있습니다. 또한 제조사는 수소 관련 NIST 표준 시료와의 비교 데이터를 확보하고 있어, 정량 분석 응용 분야에서 분석 결과의 신뢰성을 높이는 데 도움이 됩니다.

본 제품은 극미량 수준의 불순물, 아웃가스 또는 수소를 관리·분석해야 하는 반도체, 디스플레이, 철강 및 첨단 금속 제조 현장뿐만 아니라 R&D 센터, 연구기관, 대학 및 소재 시험·검사 연구실에 적합합니다.

IVT Co., Ltd.는 2008년에 설립된 한국의 기술 기업으로, 반도체, 디스플레이 및 금속 산업을 위한 초고진공 장비, TDS 분석 시스템 및 재료 테스트 장비를 전문적으로 개발하고 있습니다. IVT는 2010년부터 삼성전자에 자동 TDS 시스템을 개발, 제공해 왔으며, 2011년에는 삼성전자 1차 공급업체로 선정됐다. 또한 삼성전자, 한국표준과학연구원(KRISS), 국내 기술 연구기관과 장비 개발 및 국산화 사업에도 참여하고 있다. IVT는 장비 제조 역량 외에도 샘플 분석 서비스와 심층적인 기술 지원을 제공하고 있으며 ISO 45001:2018, KOSHA 안전 인증, TDS 관련 특허 및 상표를 보유하고 있습니다.